รายละเอียดวารสารวิชาการ

  1. หน้าแรก
  2. รายชื่อนักวิจัย
  3. ฉัตรชัย พะวงษ์
  4. ข้อมูลวารสารวิชาการ

ชื่องานวิจัย ( Article Name)

Thickness Measurement of Double Layer Transparent Material Using Triangular Path Cyclic Interferometer

บทคัดย่อ ( Abstract )

The new scheme of a non-contact thickness measurement of multi-layer thin films with improving the sensitivity, accuracy, and performance of the measurement techniques is reported in this paper. Single- and double-layer film thickness measurement using different polarization states were studied. An alternative architecture using triangular cyclic interferometer with simultaneous measurements of reference and sample arms by splitting the beam at the output of interferometer is mathematically achieved. The polarization phase shift using two steps algorithm is observed, with steps shift of π/2 rad for a double layer sample. This shows that the polarization state has an impact on the thickness measurement of different thinfilm materials.

เอกสารวิจัย ( Paper )

VIEW

ผู้เขียน ( Authors )

  • ฉัตรชัย พะวงษ์

ข้อมูลการเผยแพร่ ( Journal Infomation )