ชื่องานวิจัย ( Article Name)
5
Structure and Mechanical Properties of Unheated Chromium Aluminum Nitride Coatings Sputter-Deposited with Various Aluminum Content
บทคัดย่อ ( Abstract )
Abstract. Chromium aluminum nitride (CrAlN) has been extensively studied because of high hardness, high oxidation and corrosion resistance, and good wear resistance. However, utilizing substrate treatments such as heating and voltage biasing during film deposition usually leads to relatively high surface roughness that affects wear rates. It has been found that sputter deposition at low substrate temperatures can produce nano-grain coatings with enhanced structure and mechanical properties. For this reason, the CrAlN in this study was prepared by a reactive co- sputtering technique without the substrate treatments. Effects of Al content on structure and mechanical properties were investigated by X-ray diffraction, field-emission scanning electron microscopy, energy-dispersive X-ray spectrometry, atomic force microscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, and nanoindentation. The results suggest that these CrAlN films formed as solid solutions by substitution of Al for Cr in the CrN crystalline structure. The deposition with increasing Al but fixed N leads to N deficiency, therefore at high Al content these films form under 1:1 stoichiometric nitride. This lowers film crystallinity and hence refined film morphology. Surface roughness and hardness of the films decreased from 5.737 to 1.135 nm and from 31.69 to 26.56 GPa, respectively. However, the solid solution strengthening arising from the further increase of the Al content causes these values to rebound to 2.466 nm and to 30.16 GPa.
เอกสารวิจัย ( Paper )
ผู้เขียน ( Authors )
- ชุติมา ภาคสัญไชย
- จิระวัฒน์ จันทรังษี
- ชุติมา อุปถัมภ์
ข้อมูลการเผยแพร่ ( Journal Infomation )
ชื่อวารสารที่ตีพิมพ์
Key Engineering Materials
หน่วยงานเจ้าของวารสาร
Trans Tech Publications
ลิงค์ฐานข้อมูลวารสารที่เผยแพร่
https://www.scientific.net/KEM
ประเภทฐานข้อมูล
-
ประเมินบทความโดย
-
วันที่ได้รับการอนุมัติ
Jun 24, 2562
วันที่เผยแพร่
Oct 10, 2562
เผยแพร่ระดับ
ระดับนานาชาติ
เลขที่ ISBN / ISSN / DOI
ISSN: 1662-9795
ปีที่ - ฉบับที่ - หน้าที่
ปี 2019 ฉบับที่ 824 หน้าที่ 254-259
แหล่งทุนงานวิจัย
เงินงบประมาณแผ่นดิน
วันที่อัพเดตข้อมูลล่าสุด
2023-06-13 06:24:55