ชื่องานวิจัย ( Article Name)
5
An XPS study on oxidation of exposed-to-air Cr1-xZrxN film surfaces
บทคัดย่อ ( Abstract )
Chromium zirconium nitride (CrZrN) thin films were prepared on Si (100) substrates with various Zr contents by using co-sputtering technique. The Zr content was varied by variation of the Zr sputtering current from 0.2 to 0.8 A while the Cr current and the N2 flow rate were kept at 0.8 A and 6.0 sccm, respectively, to fix the concentration of Cr and N atoms. An oxidation caused by exposure to air of the Cr1−xZrxN thin films were studied by using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Chemical composition analysis of XPS spectra revealed that oxygen detected on the film surfaces was increased with the rise in the Zr content. Deconvolutions of O 1s photoemission lines revealed bonding separately of O atoms to Cr and Zr atoms. Moreover, the fraction of the O–Cr bond was increased with the increasing Zr content.
เอกสารวิจัย ( Paper )
ผู้เขียน ( Authors )
- ชุติมา ภาคสัญไชย
- จิระวัฒน์ จันทรังษี
ข้อมูลการเผยแพร่ ( Journal Infomation )
ชื่อวารสารที่ตีพิมพ์
Materials Today: Proceedings
หน่วยงานเจ้าของวารสาร
Elsevier
ลิงค์ฐานข้อมูลวารสารที่เผยแพร่
https://www.materialstoday.com/proceedings
ประเภทฐานข้อมูล
-
ประเมินบทความโดย
-
วันที่ได้รับการอนุมัติ
Jan 1, 2561
วันที่เผยแพร่
Jan 1, 2561
เผยแพร่ระดับ
ระดับนานาชาติ
เลขที่ ISBN / ISSN / DOI
-
ปีที่ - ฉบับที่ - หน้าที่
ปี 2018 ฉบับที่ 5 หน้าที่ 15155-15159
แหล่งทุนงานวิจัย
เงินจากแหล่งทุนอื่น ๆ
วันที่อัพเดตข้อมูลล่าสุด
2023-06-13 06:13:30