ชื่องานวิจัย ( Article Name)
6
Polarization Phase-shifting Technique for the Determination of a Transparent Thin Film’s Thickness Using a Modified Sagnac Interferometer
บทคัดย่อ ( Abstract )
We propose a polarization phase-shifting technique to investigate the thickness of Ta2O5 thin films deposited on BK7 substrates, using a modified Sagnac interferometer. Incident light is split by a polarizing beam splitter into two orthogonal linearly polarized beams traveling in opposite directions, and a quarter-wave plate is inserted into the common path to create an unbalanced phase condition. The linearly polarized light beams are transformed into two circularly polarized beams by transmission through a quarter-wave plate placed at the output of the interferometer. The proposed setup, therefore, yields rotating polarized light that can be used to extract a relative phase via the self-reference system. A thin-film sample inserted into the cyclic path modifies the output signal, in terms of the phase retardation. This technique utilizes three phase-shifted intensities to evaluate the phase retardation via simple signal processing, without manual adjustment of the output polarizer, which subsequently allows the thin film’s thickness to be determined. Experimental results show that the thicknesses obtained from the proposed setup are in good agreement with those acquired by a field-emission scanning electron microscope and a spectroscopic ellipsometer. Thus, the proposed interferometric arrangement can be utilized reliably for non-contact thickness measurements of transparent thin films and characterization of optical devices.
เอกสารวิจัย ( Paper )
ผู้เขียน ( Authors )
- ฉัตรชัย พะวงษ์
ข้อมูลการเผยแพร่ ( Journal Infomation )
ชื่อวารสารที่ตีพิมพ์
Current Optics and Photonics
หน่วยงานเจ้าของวารสาร
Current Optics and Photonics
ลิงค์ฐานข้อมูลวารสารที่เผยแพร่
https://doi.org/10.3807/COPP.2018.2.5.474
ประเภทฐานข้อมูล
-
ประเมินบทความโดย
-
วันที่ได้รับการอนุมัติ
Jun 22, 2561
วันที่เผยแพร่
Jun 8, 2561
เผยแพร่ระดับ
ระดับนานาชาติ
เลขที่ ISBN / ISSN / DOI
10.3807/COPP.2018.2.5.474
ปีที่ - ฉบับที่ - หน้าที่
ปี 2018 ฉบับที่ 5 หน้าที่ 474-481
แหล่งทุนงานวิจัย
เงินจากแหล่งทุนอื่น ๆ
วันที่อัพเดตข้อมูลล่าสุด
2023-05-24 14:36:13